技术对话 | 泓川科技光谱共焦传感器与非球面镜片厚度检测系统搭建全指南

提问者（光学工艺工程师）

我们正在为微型相机模组镜片建立全检系统，面临三个核心挑战：

1. 镜片直径3~8mm且镀有宽带增透膜（380-1100nm）

2. 要求厚度检测精度±0.5μm，单镜片检测时间3秒

3. 需兼容曲面镜（R≥0.8mm）和平面镜混线生产
   请问如何选择传感器？针对低反射率表面有哪些特别设计？

专家解答（泓川技术团队）

一、传感器选型决策树

二、低反射表面应对方案

1. 光学系统优化

• 光路设计：采用45°环形照明，提升漫反射分量

• 滤光片组：配置850nm带通滤光片（透过率>90%）

• 探测器：InGaAS阵列传感器（量子效率提升30%）

2. 信号处理流程

三、系统集成关键参数

四、实测数据对比

测试条件：

• 镜片类型：Φ5mm非球面镜（R=0.8mm）

• 镀膜参数：8层MgF₂/SiO₂交替镀膜

• 测量设备：LTC4000FS+LT-CCH

性能表现：

五、典型故障排除指南

问题现象： 镜片边缘厚度值跳变
诊断步骤：

1. 检查光斑中心对准度（偏移量应10%光斑直径）

2. 验证折射率补偿参数（n值误差应0.5%）

3. 检测环境振动（加速度需0.01g RMS）

4. 校准温度传感器（误差需±0.3°C）

解决方案：

• 启用软件偏心补偿算法

• 更新材料数据库折射率参数

• 加装主动隔振装置

• 增加温度校准频次（每4小时/次）

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