硬件级降噪：选用高灵敏度、低噪声光学元器件，从信号采集端抑制干扰源。
算法级抗扰：DU创多参数反演算法，可有效抵消振动、温湿度波动等外部扰动，确保测量结果重复性≤0.05nm。
结构优化：紧凑型光学系统设计，支持狭小空间安装（如生产线夹缝），且防护等级达 IP40，适应粉尘、电磁干扰等工业环境。
| 核心指标 | 弥散光斑型（LTP-T10-UV-VIS） | 聚焦光斑型（LTVP-TVF） |
|---|
| 测量范围 | 20nm~50μm（n=1.5 时） | 同左 |
| 重复精度 | 0.05nm（100nm SiO₂标准件，1000 次采样） | 同左 |
| 准确度 | <±1nm 或 ±0.3%（取最大值） | 同左 |
| 光源波长 | 190-2500nm（氘灯 + 卤素灯组合） | 同左 |
| 测量角度 | ±10°（建议恒定） | ±5°（建议恒定） |
| 光斑特性 | 10mm 距离时直径约 4mm（大面积覆盖） | 直径约 200μm（微米级聚焦） |
| 安装距离 | 5~10mm（灵活适配） | 轴向 55mm±2mm / 径向 34.5mm±2mm（需精准定位） |
| 物理尺寸 | φ6.35×3200mm（含线），重 190g | φ20×73mm（探头），附加镜 49g |
| 环境耐受 | 10~40℃，20%-85% RH（无冷凝） | 同左 |
多层膜厚同步测量：支持 2-5 层透明 / 半透明膜结构（如 OLED 有机层、PCB 阻焊层）的厚度与折射率解算，单次测量即可完成全层分析。
硬质薄膜兼容：针对陶瓷涂层、电镀层等硬质材料，优化光学反射模型，避免接触式测量损伤风险。
非接触式检测：纯光学反射原理，适用于柔性材料（如锂电池电极涂布层、生物芯片薄膜），杜绝物理接触形变误差。
半导体与光伏：
显示面板制造：
精密涂布与喷涂：
汽车油漆涂层厚度检测，电子器件防水膜均匀性分析；
锂电池极片涂布厚度在线测量，提升电池一致性。
科研与特种领域：
| 应用场景 | 推荐探头类型 | 核心优势 | 安装要点 |
|---|
| 大面积快速扫描 | 弥散光斑型（LTP-T10） | 光斑覆盖广，安装距离灵活（5-10mm） | 需保持测量角度≤±10° |
| 微小区域精密测量 | 聚焦光斑型（LTVP-TVF） | 微米级光斑，精度更高（±5° 测量角度） | 需严格控制轴向 / 径向安装距离 |
| 定制化远距检测 | 聚焦光斑型（定制款） | 工作距离可扩展至 35-200mm（需提前预定） | 联系销售团队确认光学附件配置 |
泓川科技LT-R 系列白光干涉测厚仪，凭借宽光谱光源技术、抗干扰系统设计及智能化软件生态，重新定义了工业膜厚测量的精度边界。其紧凑的体积与灵活的集成能力，既适用于实验室研发的精密分析，也可无缝嵌入生产线实现在线检测。无论是半导体芯片的纳米级工艺控制，还是显示面板的微米级膜层均匀性管理，这款设备均能以可靠的数据支撑，助力企业实现工艺革新与品质跃升。
关键词：白光干涉测厚仪、泓川科技、纳米精度、多层膜检测、工业级抗干扰、半导体量测
更新时间：2025-05-27
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