真空环境光谱共焦传感器无需直接接触被测物,避免了传统接触式测量可能带来的污染或损伤风险,尤其适合脆弱、柔软材料或复杂形状物体的检测。理论上波长可无限细分,结合特殊设计的镜头可实现纳米级分辨率,满足精密/超精密制造、半导体量测等领域的需求;同时,自动聚焦功能确保在量程范围内无论物体位置如何变化均能准确捕捉数据。
真空环境下消除了空气分子对光束传播的影响,进一步提升了稳定性和可靠性;此外,传感器内部仅含镜头结构且不发热,温度漂移小,适用于微米及亚微米级别的测量场景。支持高速数据采集与处理,例如每秒可达100万3D点的测试速度,提升生产效率;并可集成到自动化生产线中实现在线质量监控。探头耐用无损,使用寿命长;其标准化接口便于与计算机辅助系统或其他工业设备联动,适配多样化的应用需求。
真空环境光谱共焦传感器的使用注意事项:
1.环境控制方面
-温度管理:注意环境温度的变化,因为环境温度每变化10℃,本机内部温度相应调整大约需要60分钟,所以应在接通电源后放置约30分钟再使用,且尽量保持环境温度恒定,避免因温度波动造成测量误差。
-真空度维护:密切关注真空系统的运行状态,确保真空度始终处于稳定且合适的范围内,防止因真空度过低或不稳定而干扰测量过程。
2.设备操作规范
-避免碰撞:在操作过程中要小心谨慎,防止传感器受到外力撞击或振动,以免损坏其精密部件,影响测量精度和使用寿命。
-清洁保养:定期清洁传感器的光学窗口和其他关键部位,去除灰尘、油污等杂质,保证光线的正常传输和接收;但要注意使用合适的清洁工具和方法,避免刮伤镜片或其他敏感元件。
3.信号指示灯关注:依据设备面板上的LED信号指示灯颜色来判断暗信号处理结果,绿色表示暗信号水平满足所有测量频率要求;橙色表示当前暗信号水平过高,但仍可满足高频率测量应用;红色则表示当前暗信号水平过高,不适宜进行测量。
4.特殊材料测量考量:当测量强吸光材料(如黑色橡胶)或透明材料(如玻璃或者液体)时,要充分了解材料特性对测量的影响,必要时调整测量参数和方法以确保获得准确可靠的结果。
5.柔性样品处理:对于柔性玻璃等易变形的材料,需在无应力状态下测量,建议使用真空吸附治具固定边缘,以减少应力引入导致的测量偏差。