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破解 UTG 纳米级测厚难题:泓川科技 LTS 系列白光干涉传感器

更新时间:2026-07-19点击次数:27



近年来,折叠屏手机凭借形态创新成为智能手机市场的核心增长赛道,作为折叠屏盖板的核心材料,UTG(超薄柔性玻璃)凭借高透光、耐刮擦、高强度的综合优势,市场渗透率随产业规模同步快速提升。在 UTG 从毫米级原片减薄至数十微米的核心制程中,厚度的精准管控直接决定产品良率与量产效率,是行业gong认的技术卡点。


针对这一行业共性痛点,无锡泓川科技推出 LTS 系列白光干涉测厚传感器,基于光谱干涉的技术原理与全场景工业适配设计,以纳米级测量精度、高速在线采样能力与长期运行稳定性,为 UTG 超薄柔性玻璃提供了成熟的量产级高精度测厚方案。

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一、产业扩容下的刚需:UTG 测厚为何成为制程核心

随着全球折叠屏出货量持续攀升,UTG 已从gao端旗舰机型逐步向主流价位段渗透。行业主流 UTG 产品厚度集中在 30~100μm,部分ji致轻薄方案厚度已突破 20μm。其制备通常以 0.4mm 以上的普通玻璃为原片,通过化学蚀刻工艺逐步减薄,再经切割、强化形成最终成品。

在整条制程链路中,化学蚀刻阶段的厚度管控是品质控制的核心:蚀刻不足会导致厚度超标,无法满足弯折性能要求;蚀刻过度则会直接造成材料报废。微米级的厚度偏差,就可能影响产品的弯折寿命与结构强度。因此,实时、精准、稳定的在线厚度测量,是 UTG 厂商提升良率、扩大产能的bi备基础能力。


二、四大行业痛点,掣肘 UTG 在线测厚落地

UTG 自身的材料特性与生产场景,给厚度测量带来了多重技术挑战,传统测量方案难以同时满足精度、速度、稳定性与环境适配的综合要求:
  1. 极限精度要求:UTG 成品厚度仅数十微米,工艺管控要求重复精度达到纳米级;传统接触式测厚仪不仅易划伤玻璃表面,也难以达到如此高的测量分辨率。

  2. 复杂工况挑战:化学减薄槽内存在温度波动与药液环境,且产线需 24 小时连续运行;传统一体式传感器自身发热易引发夹具形变、光轴偏移,长期测量漂移问题突出。

  3. 透明材料困境:UTG 为高透光材料,常规激光位移传感器依赖表面反射光强,面对透明介质时信号极易丢失或漂移,无法稳定获取厚度数据。

  4. 量产节拍压力:规模化产线要求毫秒级完成单点位测量,以实现流水线全检;传统离线抽检方案效率低、滞后性强,难以支撑工艺闭环动态调整。

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三、白光干涉原理:从根源适配透明介质测厚

泓川科技 LTS 系列传感器采用白光干涉测厚技术,从测量原理上天然适配透明薄膜与玻璃的厚度检测。
其核心逻辑为:白色宽谱光源通过干涉探头照射到 UTG 样品后,会分别在玻璃的上表面与下表面形成反射光;两路反射光因光程差产生相位差,形成特征干涉条纹;传感器通过光谱解析干涉条纹的分布规律,结合材料折射率即可精准计算出玻璃的实际厚度。

与依赖反射光强的传统光学传感器不同,白光干涉通过光谱特征解析厚度,不依赖表面反射率高低,从根本上解决了高透光材料 “看不见、测不准" 的行业难题。

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四、七大核心优势,精准匹配 UTG 量产测厚需求

基于白光干涉技术底座,LTS 系列传感器针对 UTG 生产场景做了全维度的工程优化,各项参数精准对齐行业核心诉求:

1. 纳米级精度,捕捉微米级波动

LTS 系列传感器静态噪声低至 1nm,线性误差小于 ±20nm,可精准捕捉 UTG 减薄过程中纳米级的厚度变化,为化学蚀刻的工艺闭环控制提供可靠的数据支撑,避免厚度超差导致的产品报废。


2. 双量程覆盖,适配全工艺阶段

系列产品覆盖多档测量区间:在折射率 1.5 的条件下,可分别支持 1~50μm、2~100μm 的厚度测量范围,既能覆盖 UTG 成品 30~100μm 的终检需求,也能适配减薄初期的厚态测量,贯穿从原片蚀刻到成品出库的全制程。


3. 10kHz 高速采样,匹配在线全检节拍

传感器最高采样频率可达 10kHz,实现毫秒级数据采集与输出,可wan美匹配自动化产线的流水线节拍,将传统的离线抽检升级为在线全检,确保每一片 UTG 的厚度数据都可追溯。


4. 宽谱高亮度光源,透明介质稳定测量

产品采用超高亮度彩色激光光源,将蓝色激光照射于红绿荧光体生成多色光,相比普通白色 LED 拥有更宽的高亮度发光波段,光谱信息更丰富。即使面对 UTG 这类高透光玻璃,也能生成清晰稳定的干涉条纹,在宽工作距离下始终保持测量精度,che底解决透明材料信号丢失的行业痛点。

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5. 零发热探头设计,gen热漂移误差

LTS 系列采用分离式纯光学探头结构,探头内部仅含光学镜头,无任何电子元件,工作过程中零发热。对比传统激光位移传感器通电 10 分钟即可升温 8℃、引发夹具形变与光轴偏移的问题,该设计从结构上消除了热形变导致的测量误差,保障 24/7 连续运行下的数据稳定性。

6. 光纤信号传输,无惧工业电磁干扰

传感器采用光纤进行信号传输,天然隔绝电磁噪声,可适配 UTG 生产车间内电机、加热装置、泵阀等设备密集的强电磁干扰环境,确保长距离传输下信号纯净,测量数据稳定可靠。

7. 多规格探头,轻松集成狭小空间

系列提供两种规格的测量探头:标准聚焦探头外径 30mm、长度 58mm,适用于固定工位高精度测量;微型弥散光探头外径仅 6.35mm、长度 65mm,体积紧凑,可灵活集成于蚀刻槽、传送线等狭小的工艺空间内,无需大幅改动原有产线布局即可实现原位测量。

五、落地量产线:四大价值驱动 UTG 产业提质增效

将 LTS 系列白光干涉传感器引入 UTG 生产线后,可从品质、效率、工艺、产能四个维度实现全面升级:
  • 实时闭环管控,杜绝厚度超差:在线实时获取每一片 UTG 的厚度数据,可快速反馈至蚀刻工艺系统,动态调整蚀刻参数,实现厚度的闭环控制,从源头减少厚度不合格品。

  • 全检替代抽检,大幅提升良率:将传统的实验室离线抽检升级为产线在线 100% 全检,可即时拦截厚度异常产品,避免不合格品流入后道工序造成的额外成本浪费,显著提升整体良率。

  • 数据沉淀赋能,驱动工艺优化:完整的厚度分布数据可形成工艺数据库,为化学蚀刻配方调整、蚀刻时间优化、温度曲线匹配提供量化依据,助力企业持续迭代工艺水平。

  • 稳定长期运行,支撑规模量产:零热漂移、强抗干扰的设计保障了设备 7×24 小时连续运行的可靠性,高速采样能力可无缝对接自动化量产线,充分满足折叠屏产业快速增长的产能需求。

结语

随着折叠屏产业向规模化、普惠化发展,UTG 的产能与品质要求将持续提升,高精度在线测厚作为核心制程环节,其技术价值将进一步凸显。泓川科技 LTS 系列白光干涉测厚传感器,凭借原理层面的先天优势与工程化的深度适配,为 UTG 行业提供了成熟可靠的测厚解决方案,也为柔性显示产业链的国产化升级提供了核心测量技术支撑。


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