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光谱共焦传感器
高精密光谱共焦传感器探头
LTC600泓川光谱共焦传感器光斑直径8um精度0.2um
产品分类
产品名称:LTC600 光谱共焦位移传感器
品牌:无锡泓川科技
型号:LTC600(超精密型)
泓川光谱共焦传感器光斑直径8um精度0.2um
泓川光谱共焦传感器光斑直径8um精度0.2um
LTC600光谱共焦位移传感器是无锡泓川科技推出的高精度非接触式测量解决方案,专为工业检测与精密制造场景设计。基于先进的光谱共焦技术,其具备亚微米级测量精度、超小光斑直径及抗干扰能力强等核心优势,适用于镜面、透明/半透明材料、多层膜厚、深孔内壁等复杂表面及高反光场景的精密测量。
超高精度
静态噪声低至 16nm,线性误差 <±0.18μm,确保重复性与稳定性。
光斑直径仅 Φ8μm(聚焦型),可精准捕捉微观形变与边缘特征。
复杂场景适应性
支持 ±32.5° 超大测量角度,轻松应对曲面、深孔、内壁等复杂结构。
兼容镜面、透明材料(如玻璃、薄膜)、多层胶合体等,实现多层厚度同步测量。
高速响应
采样速率高达 30kHz,满足动态高速检测需求,如晶圆位置校准、产线实时监测。
紧凑耐用
外径仅 φ20×110mm,重量 73g,轻量化设计适配狭小空间安装。
抗环境光干扰,适应工业现场复杂工况。
参数 | 指标 |
---|---|
测量范围 | ±0.3mm |
参考距离 | 20mm |
光斑直径(聚焦型) | Φ8μm |
线性误差 | <±0.18μm |
静态噪声 | 16nm |
采样速率 | 最高30kHz |
工作温度 | -10°C ~ +60°C(可定制200℃高温版本) |
接口支持 | USB/RS485/以太网/模拟量/数字量 |
精密制造:晶圆位置校准、金属部件跳动量检测、模具磨损监测。
透明材料检测:玻璃管壁厚度、多层胶合玻璃/膜层厚度测量。
3C行业:曲面屏轮廓扫描、手机屏幕平整度检测。
自动化产线:涂布厚度控制、压延玻璃实时测厚。
控制器支持:多通道同步测量(单通道10kHz),兼容EtherCAT、Modbus等工业协议,提供PC端软件及二次开发包,无缝集成自动化系统。
定制服务:可根据需求提供侧向出光(LTCR系列)等特殊型号,适配深孔、内壁检测场景。
无锡泓川科技专注光学测量领域,LTC600以纳米级标定验证与工业级可靠性,为高DUAN制造、半导体、3C等行业提供精准、高效的测量保障。支持定制化服务,满足多样化检测需求。
关键词:光谱共焦传感器、非接触测量、亚微米精度、透明材料测厚、工业自动化
公司邮箱: qinyuankang@163.com
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