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光谱共焦传感器
90°侧出光光谱共焦探头
LTCR1500N泓川科技4mm直径径向出光的光谱共焦传感器
产品分类
产品名称:LTCR1500N 光谱共焦位移传感器
品牌:无锡泓川科技
型号:LTCR1500N(侧向出光纳米级深孔检测型)
泓川科技4mm直径径向出光的光谱共焦传感器
泓川科技4mm直径径向出光的光谱共焦传感器
LTCR1500N是无锡泓川科技专为纳米级深孔、小腔体及高精度内壁检测升级研发的侧向出光光谱共焦传感器,采用 90°侧向光路 与 纳米级标定技术,突破传统传感器空间与精度极限。其以 ±0.5mm超窄量程 与 Φ5μm亚微米光斑 为核心,为半导体封装、精密医疗器械、微型电子元件等领域的隐蔽空间检测提供纳米级非接触式测量方案,重新定义微孔检测标准。
纳米级精度与侧向光路
线性误差 <±0.15μm,静态噪声低至 30nm,聚焦光斑直径 Φ5μm,精准捕捉内壁纳米级划痕、镀层缺陷。
90°垂直出光,适配孔径低至 φ1.0mm,直击微型喷嘴、芯片通孔等传统传感器盲区。
超微型工业设计
探头尺寸仅 φ2.5×18mm(含侧向出光口),重量 5g,全球zui轻量化侧向探头,轻松嵌入高密度集成设备。
全钛合金密封外壳,IP68防护等级,抗腐蚀、耐高压冲洗,适配洁净室与生化检测场景。
智能温控与抗干扰
内置 双通道温度补偿系统,工作温度 -20°C ~ +60°C,极duan温差下精度波动 <±0.05μm。
抗环境光、电磁干扰,通过 IEC 61326工业EMC认证,满足半导体产线严苛要求。
高速动态响应
采样速率 30kHz,支持微米级高速旋转工件(如微型轴承、精密齿轮)的实时在线检测。
AI赋能缺陷识别
集成 AI微孔分析算法,实时识别内壁毛刺、堵塞、镀层不均,误报率 <0.005%。
参数 | 指标 |
---|---|
测量范围 | ±0.75mm |
参考距离 | 1.5mm |
光斑直径(聚焦型) | Φ5μm |
线性误差 | <±0.15μm |
静态噪声 | 30nm |
测量角度 | ±8°(侧向) |
最小适配孔径 | φ5.0mm |
采样速率 | 最高30kHz |
防护等级 | IP68 |
工作温度 | -20°C ~ +60°C (可定制200℃高温版本) |
接口支持 | USB/万兆以太网/EtherCAT/光纤 |
半导体封装:芯片TSV通孔深度检测、晶圆切割刀内冷却孔形貌分析。
医疗器械:手术针内壁光洁度检测、纳米级药物输送微孔直径测量。
3C电子:TWS耳机声学腔体扫描、微型连接器镀层厚度在线监测。
精密加工:燃油喷嘴微孔堵塞检测、光学透镜微结构内壁轮廓重建。
科研领域:MEMS器件微通道检测、纳米材料孔隙率分析。
纳米级多轴控制器:支持8通道同步测量(最高10kHz),集成 AI边缘计算模块 与 3D纳米云图软件,一键生成亚微米级内壁三维模型。
全球定制化服务:可选配 真空腔体适配探头、超长柔性光纤(20m) 或 防静电版本(ESD 20kV),适配无尘车间、高精密实验室等场景。
无锡泓川科技以 “纳米检测,智造未来" 为核心理念,LTCR1500N通过 “侧向出光×纳米精度×AI智能"三维革新,成为微孔检测领域的 技术标gan。其以 军工级密封工艺 与 半导体级稳定性,为高duan制造、生命科学、科研机构提供 “零盲区"测量保障,助力客户实现 工艺极限突破 与 产品ling缺陷交付。
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关键词:光谱共焦传感器、侧向出光、纳米级检测、微孔测量、半导体封装
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