高精度测量新标gan:LTC 光谱共焦位移传感器 —— 支持真空环境定制化解决方案
引言
真空环境光谱共焦传感器在工业精密测量领域,面对镜面、透明材料、复杂曲面及严苛环境的挑战,传统传感器常显乏力。LTC 光谱共焦位移传感器凭借突破性的光学设计与技术创新,不仅实现了亚微米级精度的稳定测量,更可根据客户需求定制真空环境专用版本,为半导体、航空航天、高duan制造等领域提供极zhi可靠的测量方案。
真空环境光谱共焦传感器的核心优势:重新定义精密测量标准
1. 极zhi精度,全场景适配
超高重复精度与线性精度:部分型号重复精度可达 3nm,线性误差低至 ±0.03μm,远超传统激光传感器,满足纳米级精度要求。
多光斑智能切换:提供小光斑(φ1.7μm)、大光斑及四光点式光斑,适配微小目标物(如芯片引脚)、粗糙表面及复杂轮廓测量,有效抑制表面凹凸干扰。
超大测量角度:支持 ±60° 测量角度,无需严格对准被测物,对深孔、凹坑、曲面实现无si角检测。
2. 抗干扰能力强,复杂环境稳定输出
共焦光学设计:通过针孔滤除杂光,仅聚焦位置的单色光被接收,抗环境光干扰能力卓yue,在强背光、多光源场景下仍保持数据稳定。
透明 / 镜面材料友好:同轴共焦光路设计解决传统激光传感器在透明介质(如玻璃、晶圆)或镜面表面的光斑偏移问题,实现高度变化时测量点无偏差。
3. 超快响应,高效生产赋能
最高 10kHz 采样频率:实时捕捉高速运动物体(如高速旋转工件、生产线动态检测),确保动态测量无延迟。
多接口兼容:标配 USB、RS485、以太网、模拟量等 6 种 I/O 通道,支持 PC 端软件、PLC 总线、编码器同步触发,无缝集成至自动化产线。
4. 真空环境定制:突破极限环境约束
特殊材料与密封设计:针对真空(10⁻⁶Pa 级)、高低温(-20℃~+80℃)、高洁净等极duan环境,采用全金属密封探头、抗挥发涂层及真空兼容光学元件,确保长期稳定运行。
行业专属解决方案:适用于半导体晶圆制造(真空腔体内厚度检测)、航空航天部件真空环境测试、OLED 面板真空贴合精度校准等场景,定制版本经严格真空环境测试,性能零衰减。
技术原理:光谱共焦,光与距离的精准映射
采用白色点光源经色散共焦探头,不同波长光聚焦于不同距离,形成 “光学位移标尺”。被测物反射光通过同轴光路返回,经针孔筛选后由光谱仪解析波长分布,通过波长 - 位移转换曲线实时计算距离变化。该原理避免了传统三角测量法的角度依赖性,对倾斜、曲面、透明介质实现无偏差测量。
产品矩阵:多元型号满足差异化需求
应用领域:精密制造的全能助手
半导体与电子:晶圆厚度 / 平整度检测、芯片封装高度测量、PCB 焊盘共面性分析。
光学与显示:手机玻璃曲面 R 角测量、OLED 面板厚度均匀性检测、镜头曲率高精度校准。
航空航天:发动机叶片型面检测、航空部件真空环境变形监测、涂层厚度非接触测量。
科研与计量:材料表面粗糙度分析、微纳米器件位移标定、生物医学细胞显微测量。
定制服务:从标准到专属的精准适配
真空环境适配:提供探头密封性强化、真空兼容线缆、抗热胀冷缩结构设计,支持 10⁻³Pa~10⁻⁶Pa 真空度定制。
特殊接口开发:根据客户需求定制 EtherCAT、Profinet 等工业总线,或集成至特定自动化系统。
光路定制:支持轴向 / 径向出光模式、多探头阵列集成,满足复杂工位的多角度同步测量。
结语
LTC真空环境光谱共焦传感器以 “高精度、高适应、高可靠” 重塑精密测量体验,真空环境定制版本更打破环境限制,成为极duan工况下的首xuan方案。无论是常规产线的高效检测,还是真空腔体内的极限挑战,LTC 始终以技术创新推动工业测量迈向新维度。
系列 | 测量范围 | 典型精度 | 光斑类型 | 特色应用 |
C100B/C400 | ±0.05mm~±0.2mm | 3nm~12nm | 微米级小光斑 | 手机曲面 R 角、精密电子元件 |
C2000/C3000 | ±1mm~±1.5mm | 85nm~100nm | 中光斑 / 四光点式 | 金属工件轮廓、PCB 高度差 |
C10000/C50000 | ±5mm~±25mm | 250nm~850nm | 大光斑 | 结构件平面度、液膜厚度检测 |
真空定制版 | 定制化范围 | 亚微米级精度 | 全光斑类型兼容 | 真空腔体、高洁净环境测量 |