国产纳米级白光干涉测厚仪

产品简介
LTS系列白光干涉测厚仪基于白光干涉原理，专为薄膜、涂层厚度测量设计，具备纳米级精度、超快采样速度及宽范围适应性，适用于半导体、新能源、光学薄膜等高duan制造领域。国产纳米级白光干涉测厚仪

产品型号：LTS系列

更新时间：2025-06-19

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白光干涉测厚仪

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白光干涉测厚仪具体可分为两种模式

泓川科技LT-R 系列白光干涉测厚仪：纳米级精度丈量新维度

泓川科技白光干涉测厚仪在晶圆碳化硅层厚度测量中的应用实践

国产替代之：泓川科技 HC8-030 vs 松下 HG-C1030 激光位移传感器对比

白光干涉测厚仪是一种基于光学干涉原理的高精度测量仪器

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LTS系列干涉测厚传感器全面产品介绍

国产纳米级白光干涉测厚仪

一、产品概述

　　LTS系列白光干涉测厚仪基于白光干涉原理，专为薄膜、涂层厚度测量设计，具备纳米级精度、超快采样速度及宽范围适应性，适用于半导体、新能源、光学薄膜等高duan制造领域。

二、白光干涉测厚仪的核心优势(产品亮点)

　　超高精度

　　重复精度达 1nm，线性误差 ±20nm，实现纳米级厚度测量。

　　非接触式测量，避免接触损伤样品表面。

　　超快速度与宽范围

　　最高 10kHz 采样频率，满足高速动态测量需求。

　　超大测厚范围：常规型号厚度测量范围 1μm~2500μm(折射率 1.5 时)，适配不同薄膜厚度场景。

　　环境适应性强

　　抗干扰能力强，不受电磁干扰影响。

　　宽范围工作距离，部分型号建议安装距离 5-10mm，兼容复杂工况。

　　零发热探头设计：探头内部无电子元件，避免发热导致的夹具变形和光轴偏移，确保长期稳定测量。

　　光源技术升级

　　超高亮度彩色激光光源：通过蓝光激发荧光体生成多色光，较传统白色 LED 光源，发光波段更广、亮度更稳定，提升干涉信号解析精度。国产纳米级白光干涉测厚仪

三、测量原理

　　利用白光干涉现象：

　　光源发射：白色点光谱经干涉探头照射到样品表面，薄膜上下表面反射光(反射光 1、反射光 2)产生相位差，形成彩色干涉条纹。

　　信号解析：通过解析干涉条纹的相位差与光程差关系，计算薄膜厚度(厚度与相位差直接相关)。

　　非接触测量：无需接触样品，通过光谱信号处理实时获取厚度值。

四、白光干涉测厚仪的技术参数与型号配置

型号	LTS-100	LTS-100W	LTS-50	LTS-50W
适配探头	LTP-T50（聚焦光点，Φ100μm）	LTP-T10-UV-VIS（弥散光斑，10mm 距离时 Φ4mm）	LTP-T50	LTP-T10-UV-VIS
参考距离	50mm	非聚焦探头	50mm	非聚焦探头
测量范围	±2mm（厚度：2μm~100μm，折射率 1.5 时）	建议安装距离 5-10mm（厚度：1μm~50μm，折射率 1.5 时）	±2mm	建议安装距离 5-10mm
精度指标	重复精度 1nm，线性误差 ±20nm	重复精度 1nm，线性误差 ±20nm	重复精度 1nm，线性误差 ±20nm	重复精度 1nm，线性误差 ±20nm
测量角度	±3°	±10°	±3°	±10°
采样频率	最高 10kHz	最高 10kHz	最高 10kHz	最高 10kHz
探头规格	Φ30×58mm，90g，IP40 防护	Φ6.35×65mm，轻量化设计	Φ30×58mm，90g，IP40 防护	Φ6.35×65mm，轻量化设计
接口	Ethernet（100BASE-TX）、USB2.0、RS-485（Modbus 协议）	同左	同左	同左
电源	24VDC±10%，电流 0.4A	同左	同左	同左
工作环境	温度 0~50℃，湿度 20~85% RH（无冷凝）	同左	同左	同左

五、典型应用场景

　　电子行业：触摸屏 ITO 膜厚测量、UTG 超薄柔性玻璃厚度检测。

　　新能源：锂电隔膜厚度在线监测、光伏薄膜均匀性检测。

　　材料科学：PET 多层膜材厚度分层测量、光学涂层厚度控制。

　　精密制造：半导体晶圆薄膜沉积厚度监控、微纳结构表面形貌分析。

六、配套支持

　　软件与开发：

　　上位机软件 TSConfocalStudio，支持实时数据显示与分析。

　　提供 C++/C# 二次开发包，便于集成至自动化产线。

　　硬件适配：

　　支持编码器触发与脉冲 / 电平触发输入，兼容多种工业控制信号。

　　模拟信号输出(±10V 电压 / 4~20mA 电流)与数字信号输出(警报、比较器)，满足不同设备接口需求。

七、白光干涉测厚仪的设计亮点

　　紧凑轻量化：最小探头直径仅 6.35mm，适合狭小空间安装。

　　光纤设计：光纤接头预留距离 100mm，静态 / 动态弯曲半径分别为 30mm/60mm，

提升布线灵活性。

　　长期稳定性：无发热探头结构，避免温度漂移影响，确保高精度持续测量。

总结

　　LTS系列干涉测厚传感器以纳米级精度、超快响应和高可靠性，成为薄膜厚度测量的理想选择，广泛应用于高duan制造的质量控制与工艺优化，助力客户实现精密测量与生产效率提升。

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