LT-I 系列干涉测厚传感器全面产品介绍
一、产品概述
LT-I 系列白光干涉测厚仪基于白光干涉原理,专为薄膜、涂层厚度测量设计,具备纳米级精度、超快采样速度及宽范围适应性,适用于半导体、新能源、光学薄膜等高duan制造领域。
二、白光干涉测厚仪的核心优势(产品亮点)
超高精度
重复精度达 1nm,线性误差 ±20nm,实现纳米级厚度测量。
非接触式测量,避免接触损伤样品表面。
超快速度与宽范围
最高 10kHz 采样频率,满足高速动态测量需求。
超大测厚范围:常规型号厚度测量范围 1μm~2500μm(折射率 1.5 时),适配不同薄膜厚度场景。
环境适应性强
抗干扰能力强,不受电磁干扰影响。
宽范围工作距离,部分型号建议安装距离 5-10mm,兼容复杂工况。
零发热探头设计:探头内部无电子元件,避免发热导致的夹具变形和光轴偏移,确保长期稳定测量。
光源技术升级
超高亮度彩色激光光源:通过蓝光激发荧光体生成多色光,较传统白色 LED 光源,发光波段更广、亮度更稳定,提升干涉信号解析精度。泓川科技国产纳米级白光干涉测厚仪
三、测量原理
利用白光干涉现象:
光源发射:白色点光谱经干涉探头照射到样品表面,薄膜上下表面反射光(反射光 1、反射光 2)产生相位差,形成彩色干涉条纹。
信号解析:通过解析干涉条纹的相位差与光程差关系,计算薄膜厚度(厚度与相位差直接相关)。
非接触测量:无需接触样品,通过光谱信号处理实时获取厚度值。
四、白光干涉测厚仪的技术参数与型号配置
型号 | LT-IVS-100 | LT-IVS-100W | LT-IVS-50 | LT-IVS-50W |
适配探头 | IVP-T50(聚焦光点,Φ100μm) | IVP-T10-UV-VIS(弥散光斑,10mm 距离时 Φ4mm) | IVP-T50 | IVP-T10-UV-VIS |
参考距离 | 50mm | 非聚焦探头 | 50mm | 非聚焦探头 |
测量范围 | ±2mm(厚度:2μm~100μm,折射率 1.5 时) | 建议安装距离 5-10mm(厚度:1μm~50μm,折射率 1.5 时) | ±2mm | 建议安装距离 5-10mm |
精度指标 | 重复精度 1nm,线性误差 ±20nm | 重复精度 1nm,线性误差 ±20nm | 重复精度 1nm,线性误差 ±20nm | 重复精度 1nm,线性误差 ±20nm |
测量角度 | ±3° | ±10° | ±3° | ±10° |
采样频率 | 最高 10kHz | 最高 10kHz | 最高 10kHz | 最高 10kHz |
探头规格 | Φ30×58mm,90g,IP40 防护 | Φ6.35×65mm,轻量化设计 | Φ30×58mm,90g,IP40 防护 | Φ6.35×65mm,轻量化设计 |
接口 | Ethernet(100BASE-TX)、USB2.0、RS-485(Modbus 协议) | 同左 | 同左 | 同左 |
电源 | 24VDC±10%,电流 0.4A | 同左 | 同左 | 同左 |
工作环境 | 温度 0~50℃,湿度 20~85% RH(无冷凝) | 同左 | 同左 | 同左 |
五、典型应用场景
电子行业:触摸屏 ITO 膜厚测量、UTG 超薄柔性玻璃厚度检测。
新能源:锂电隔膜厚度在线监测、光伏薄膜均匀性检测。
材料科学:PET 多层膜材厚度分层测量、光学涂层厚度控制。
精密制造:半导体晶圆薄膜沉积厚度监控、微纳结构表面形貌分析。
六、配套支持
软件与开发:
上位机软件 TSConfocalStudio,支持实时数据显示与分析。
提供 C++/C# 二次开发包,便于集成至自动化产线。
硬件适配:
支持编码器触发与脉冲 / 电平触发输入,兼容多种工业控制信号。
模拟信号输出(±10V 电压 / 4~20mA 电流)与数字信号输出(警报、比较器),满足不同设备接口需求。
七、白光干涉测厚仪的设计亮点
紧凑轻量化:最小探头直径仅 6.35mm,适合狭小空间安装。
光纤设计:光纤接头预留距离 100mm,静态 / 动态弯曲半径分别为 30mm/60mm,提升布线灵活性。
长期稳定性:无发热探头结构,避免温度漂移影响,确保高精度持续测量。
总结
LT-I 系列干涉测厚传感器以纳米级精度、超快响应和高可靠性,成为薄膜厚度测量的理想选择,广泛应用于高duan制造的质量控制与工艺优化,助力客户实现精密测量与生产效率提升。