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国产纳米级白光干涉测厚仪

产品简介

LT-I 系列白光干涉测厚仪基于白光干涉原理,专为薄膜、涂层厚度测量设计,具备纳米级精度、超快采样速度及宽范围适应性,适用于半导体、新能源、光学薄膜等高duan制造领域。

产品型号:LT-I系列
更新时间:2025-05-13
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  LT-I 系列干涉测厚传感器全面产品介绍
 
  一、产品概述
 
  LT-I 系列白光干涉测厚仪基于白光干涉原理,专为薄膜、涂层厚度测量设计,具备纳米级精度、超快采样速度及宽范围适应性,适用于半导体、新能源、光学薄膜等高duan制造领域。
 
  二、白光干涉测厚仪的核心优势(产品亮点)
 
  超高精度
 
  重复精度达 1nm,线性误差 ±20nm,实现纳米级厚度测量。
 
  非接触式测量,避免接触损伤样品表面。
 
  超快速度与宽范围
 
  最高 10kHz 采样频率,满足高速动态测量需求。
 
  超大测厚范围:常规型号厚度测量范围 1μm~2500μm(折射率 1.5 时),适配不同薄膜厚度场景。
 
  环境适应性强
 
  抗干扰能力强,不受电磁干扰影响。
 
  宽范围工作距离,部分型号建议安装距离 5-10mm,兼容复杂工况。
 
  零发热探头设计:探头内部无电子元件,避免发热导致的夹具变形和光轴偏移,确保长期稳定测量。
 
  光源技术升级
 
  超高亮度彩色激光光源:通过蓝光激发荧光体生成多色光,较传统白色 LED 光源,发光波段更广、亮度更稳定,提升干涉信号解析精度。泓川科技国产纳米级白光干涉测厚仪
 
  三、测量原理
 
  利用白光干涉现象:
 
  光源发射:白色点光谱经干涉探头照射到样品表面,薄膜上下表面反射光(反射光 1、反射光 2)产生相位差,形成彩色干涉条纹。
 
  信号解析:通过解析干涉条纹的相位差与光程差关系,计算薄膜厚度(厚度与相位差直接相关)。
 
  非接触测量:无需接触样品,通过光谱信号处理实时获取厚度值。
 
  四、白光干涉测厚仪的技术参数与型号配置

型号 LT-IVS-100 LT-IVS-100W LT-IVS-50 LT-IVS-50W
适配探头 IVP-T50(聚焦光点,Φ100μm) IVP-T10-UV-VIS(弥散光斑,10mm 距离时 Φ4mm) IVP-T50 IVP-T10-UV-VIS
参考距离 50mm 非聚焦探头 50mm 非聚焦探头
测量范围 ±2mm(厚度:2μm~100μm,折射率 1.5 时) 建议安装距离 5-10mm(厚度:1μm~50μm,折射率 1.5 时) ±2mm 建议安装距离 5-10mm
精度指标 重复精度 1nm,线性误差 ±20nm 重复精度 1nm,线性误差 ±20nm 重复精度 1nm,线性误差 ±20nm 重复精度 1nm,线性误差 ±20nm
测量角度 ±3° ±10° ±3° ±10°
采样频率 最高 10kHz 最高 10kHz 最高 10kHz 最高 10kHz
探头规格 Φ30×58mm,90g,IP40 防护 Φ6.35×65mm,轻量化设计 Φ30×58mm,90g,IP40 防护 Φ6.35×65mm,轻量化设计
接口 Ethernet(100BASE-TX)、USB2.0、RS-485(Modbus 协议) 同左 同左 同左
电源 24VDC±10%,电流 0.4A 同左 同左 同左
工作环境 温度 0~50℃,湿度 20~85% RH(无冷凝) 同左 同左 同左
 
  五、典型应用场景
 
  电子行业:触摸屏 ITO 膜厚测量、UTG 超薄柔性玻璃厚度检测。
 
  新能源:锂电隔膜厚度在线监测、光伏薄膜均匀性检测。
 
  材料科学:PET 多层膜材厚度分层测量、光学涂层厚度控制。
 
  精密制造:半导体晶圆薄膜沉积厚度监控、微纳结构表面形貌分析。
 
  六、配套支持
 
  软件与开发:
 
  上位机软件 TSConfocalStudio,支持实时数据显示与分析。
 
  提供 C++/C# 二次开发包,便于集成至自动化产线。
 
  硬件适配:
 
  支持编码器触发与脉冲 / 电平触发输入,兼容多种工业控制信号。
 
  模拟信号输出(±10V 电压 / 4~20mA 电流)与数字信号输出(警报、比较器),满足不同设备接口需求。
 
  七、白光干涉测厚仪的设计亮点
 
  紧凑轻量化:最小探头直径仅 6.35mm,适合狭小空间安装。
 
  光纤设计:光纤接头预留距离 100mm,静态 / 动态弯曲半径分别为 30mm/60mm,提升布线灵活性。
 
  长期稳定性:无发热探头结构,避免温度漂移影响,确保高精度持续测量。
 
  总结
 
  LT-I 系列干涉测厚传感器以纳米级精度、超快响应和高可靠性,成为薄膜厚度测量的理想选择,广泛应用于高duan制造的质量控制与工艺优化,助力客户实现精密测量与生产效率提升。
 
 

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